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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 性能应用 » 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
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yamagawa

禁虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:59:02
本帖内容被屏蔽
11楼2010-09-21 16:04:49
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380677864

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:59:08
增大工作气压和直流溅射功率试试，我们的设备功率会在试验中慢慢变小@！1
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12楼2010-09-23 09:13:04
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380677864

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
回过头再看你的问题，倒觉得打开电源后，等一会，预热一下！或者慢慢增大功率，注意别太大啊
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13楼2010-10-09 16:46:01
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