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请教一下金刚石薄膜的制备技术(DLC、MPCVD)

作者 shenyp09
来源: 小木虫 550 11 举报帖子
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我是做基础核物理的,我们一直在找一种合适的将碳镀到衬底表面的方法,因为碳源是甲烷,同时对碳层和衬底的结合力有一定要求,一直没找到合适的方法。

最近偶然了解金刚石薄膜这个技术,包括MPCVD技术制备金刚石膜,从文献中看到气源只需要氢气和甲烷的混合气体,非常符合我们的实验需求,因此看看能不能应用到我们的实验上。各路大神有哪位了解具体的技术细节吗?以及国内哪些单位和老师可以提供这方面的技术支持? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • 1988的崔泽

    引用回帖:
    3楼: Originally posted by vwsu4536 at 2021-08-18 10:38:46
    dlc镀膜技术 我们做过 技术成熟

    能请教您些问题么?您是用什么方法镀膜,测试拉曼了么,如果拉曼不出峰,除了没有镀上还有没有其他原因

  • lxy1094

    引用回帖:
    7楼: Originally posted by ljl520 at 2021-08-24 13:15:05
    是甲烷,镀出来就是一个薄膜,厚度8-20微米,如果一擦就掉应该是石墨相多
    ...

    石墨相多指的是这些粉末都是石墨不是碳化钛吗?是不是需要减少甲烷的通气�
    ,

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