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shenyp09

木虫 (小有名气)

[求助] 请教一下金刚石薄膜的制备技术(DLC、MPCVD) 已有3人参与

我是做基础核物理的,我们一直在找一种合适的将碳镀到衬底表面的方法,因为碳源是甲烷,同时对碳层和衬底的结合力有一定要求,一直没找到合适的方法。

最近偶然了解金刚石薄膜这个技术,包括MPCVD技术制备金刚石膜,从文献中看到气源只需要氢气和甲烷的混合气体,非常符合我们的实验需求,因此看看能不能应用到我们的实验上。各路大神有哪位了解具体的技术细节吗?以及国内哪些单位和老师可以提供这方面的技术支持?
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997174715

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

2楼2021-08-17 22:14:06
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vwsu4536

禁虫 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

3楼2021-08-18 10:38:46
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿

我们有mpcvd设备,可以提供镀膜服务

发自小木虫IOS客户端
低调做人,低调做事,做对的事儿
4楼2021-08-20 18:46:09
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shenyp09

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ljl520 at 2021-08-20 18:46:09
我们有mpcvd设备,可以提供镀膜服务

请问你们是用甲烷作为碳源吗?镀出来的膜是什么效果?之前我这边试验的结果镀上去都是粉末状的,一擦就掉了。
5楼2021-08-22 22:06:37
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dreamwalk

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ljl520 at 2021-08-20 18:46:09
我们有mpcvd设备,可以提供镀膜服务

我想沉积样品,一个样品多少钱?对样品尺寸有何要求?

发自小木虫Android客户端
6楼2021-08-23 17:45:18
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by shenyp09 at 2021-08-22 22:06:37
请问你们是用甲烷作为碳源吗?镀出来的膜是什么效果?之前我这边试验的结果镀上去都是粉末状的,一擦就掉了。...

是甲烷,镀出来就是一个薄膜,厚度8-20微米,如果一擦就掉应该是石墨相多

发自小木虫IOS客户端
低调做人,低调做事,做对的事儿
7楼2021-08-24 13:15:05
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿

引用回帖:
6楼: Originally posted by dreamwalk at 2021-08-23 17:45:18
我想沉积样品,一个样品多少钱?对样品尺寸有何要求?
...

看您的具体要求,可以加我私信我

发自小木虫IOS客户端
低调做人,低调做事,做对的事儿
8楼2021-08-24 13:15:40
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1988的崔泽

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by vwsu4536 at 2021-08-18 10:38:46
dlc镀膜技术 我们做过 技术成熟

能请教您些问题么?您是用什么方法镀膜,测试拉曼了么,如果拉曼不出峰,除了没有镀上还有没有其他原因
9楼2021-09-22 10:49:22
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lxy1094

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by ljl520 at 2021-08-24 13:15:05
是甲烷,镀出来就是一个薄膜,厚度8-20微米,如果一擦就掉应该是石墨相多
...

石墨相多指的是这些粉末都是石墨不是碳化钛吗?是不是需要减少甲烷的通气量?
10楼2021-12-14 11:13:35
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