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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请教一下金刚石薄膜的制备技术（DLC、MPCVD）
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shenyp09

木虫 (小有名气)

[求助] 请教一下金刚石薄膜的制备技术（DLC、MPCVD） 已有3人参与

我是做基础核物理的，我们一直在找一种合适的将碳镀到衬底表面的方法，因为碳源是甲烷，同时对碳层和衬底的结合力有一定要求，一直没找到合适的方法。

最近偶然了解金刚石薄膜这个技术，包括MPCVD技术制备金刚石膜，从文献中看到气源只需要氢气和甲烷的混合气体，非常符合我们的实验需求，因此看看能不能应用到我们的实验上。各路大神有哪位了解具体的技术细节吗？以及国内哪些单位和老师可以提供这方面的技术支持？
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1楼 2021-08-17 09:49:40
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997174715

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2021-08-17 22:14:06
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vwsu4536

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
3楼2021-08-18 10:38:46
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿
我们有mpcvd设备，可以提供镀膜服务

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低调做人，低调做事，做对的事儿
4楼2021-08-20 18:46:09
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shenyp09

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ljl520 at 2021-08-20 18:46:09
我们有mpcvd设备，可以提供镀膜服务

请问你们是用甲烷作为碳源吗？镀出来的膜是什么效果？之前我这边试验的结果镀上去都是粉末状的，一擦就掉了。
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5楼2021-08-22 22:06:37
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dreamwalk

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ljl520 at 2021-08-20 18:46:09
我们有mpcvd设备，可以提供镀膜服务

我想沉积样品，一个样品多少钱？对样品尺寸有何要求？

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6楼2021-08-23 17:45:18
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by shenyp09 at 2021-08-22 22:06:37
请问你们是用甲烷作为碳源吗？镀出来的膜是什么效果？之前我这边试验的结果镀上去都是粉末状的，一擦就掉了。...

是甲烷，镀出来就是一个薄膜，厚度8-20微米，如果一擦就掉应该是石墨相多

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低调做人，低调做事，做对的事儿
7楼2021-08-24 13:15:05
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿
引用回帖:
6楼: Originally posted by dreamwalk at 2021-08-23 17:45:18
我想沉积样品，一个样品多少钱？对样品尺寸有何要求？
...

看您的具体要求，可以加我私信我

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低调做人，低调做事，做对的事儿
8楼2021-08-24 13:15:40
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1988的崔泽

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by vwsu4536 at 2021-08-18 10:38:46
dlc镀膜技术 我们做过 技术成熟

能请教您些问题么？您是用什么方法镀膜，测试拉曼了么，如果拉曼不出峰，除了没有镀上还有没有其他原因
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9楼2021-09-22 10:49:22
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lxy1094

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by ljl520 at 2021-08-24 13:15:05
是甲烷，镀出来就是一个薄膜，厚度8-20微米，如果一擦就掉应该是石墨相多
...

石墨相多指的是这些粉末都是石墨不是碳化钛吗？是不是需要减少甲烷的通气量？
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10楼2021-12-14 11:13:35
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