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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 请教一下金刚石薄膜的制备技术（DLC、MPCVD）
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三代半

金虫 (小有名气)

总经理

【答案】应助回帖

引用回帖:
1楼: Originally posted by shenyp09 at 2021-08-17 09:49:40
我是做基础核物理的，我们一直在找一种合适的将碳镀到衬底表面的方法，因为碳源是甲烷，同时对碳层和衬底的结合力有一定要求，一直没找到合适的方法。

最近偶然了解金刚石薄膜这个技术，包括MPCVD技术制备金刚石 ...

我们有MPCVD设备，使用的气体不多，能长出微米至毫米级多晶金刚石薄膜，也可以长单晶金刚石。
请教一下金刚石薄膜的制备技术（DLC、MPCVD）


请教一下金刚石薄膜的制备技术（DLC、MPCVD）-1



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11楼2022-03-14 10:53:32
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三代半

金虫 (小有名气)

总经理
引用回帖:
5楼: Originally posted by shenyp09 at 2021-08-22 22:06:37
请问你们是用甲烷作为碳源吗？镀出来的膜是什么效果？之前我这边试验的结果镀上去都是粉末状的，一擦就掉了。...

工艺的问题

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提供第三代半导体GaN、AlN、金刚石、SiC等衬底、外延片；半导体设备、炉；MOCVD设备拆装机+工艺。三代半导体(东莞)有限公司，13925883511，sales@thirdsemi.com
12楼2022-03-14 10:59:02
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