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shenyp09

木虫 (小有名气)

[求助] 请教一下金刚石薄膜的制备技术(DLC、MPCVD) 已有3人参与

我是做基础核物理的,我们一直在找一种合适的将碳镀到衬底表面的方法,因为碳源是甲烷,同时对碳层和衬底的结合力有一定要求,一直没找到合适的方法。

最近偶然了解金刚石薄膜这个技术,包括MPCVD技术制备金刚石膜,从文献中看到气源只需要氢气和甲烷的混合气体,非常符合我们的实验需求,因此看看能不能应用到我们的实验上。各路大神有哪位了解具体的技术细节吗?以及国内哪些单位和老师可以提供这方面的技术支持?
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三代半

金虫 (小有名气)

总经理

【答案】应助回帖

引用回帖:
1楼: Originally posted by shenyp09 at 2021-08-17 09:49:40
我是做基础核物理的,我们一直在找一种合适的将碳镀到衬底表面的方法,因为碳源是甲烷,同时对碳层和衬底的结合力有一定要求,一直没找到合适的方法。

最近偶然了解金刚石薄膜这个技术,包括MPCVD技术制备金刚石 ...

我们有MPCVD设备,使用的气体不多,能长出微米至毫米级多晶金刚石薄膜,也可以长单晶金刚石。
请教一下金刚石薄膜的制备技术(DLC、MPCVD)


请教一下金刚石薄膜的制备技术(DLC、MPCVD)-1



发自小木虫Android客户端
提供第三代半导体GaN、AlN、金刚石、SiC等衬底、外延片;半导体设备、炉;MOCVD设备拆装机+工艺。三代半导体(东莞)有限公司,13925883511,sales@thirdsemi.com
11楼2022-03-14 10:53:32
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查看全部 12 个回答

997174715

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

2楼2021-08-17 22:14:06
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vwsu4536

禁虫 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

3楼2021-08-18 10:38:46
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ljl520

木虫 (正式写手)

鸡腿儿

我们有mpcvd设备,可以提供镀膜服务

发自小木虫IOS客户端
低调做人,低调做事,做对的事儿
4楼2021-08-20 18:46:09
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