请教一下金刚石薄膜的制备技术(DLC、MPCVD)
我是做基础核物理的,我们一直在找一种合适的将碳镀到衬底表面的方法,因为碳源是甲烷,同时对碳层和衬底的结合力有一定要求,一直没找到合适的方法。
最近偶然了解金刚石薄膜这个技术,包括MPCVD技术制备金刚石膜,从文献中看到气源只需要氢气和甲烷的混合气体,非常符合我们的实验需求,因此看看能不能应用到我们的实验上。各路大神有哪位了解具体的技术细节吗?以及国内哪些单位和老师可以提供这方面的技术支持?
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我是做基础核物理的,我们一直在找一种合适的将碳镀到衬底表面的方法,因为碳源是甲烷,同时对碳层和衬底的结合力有一定要求,一直没找到合适的方法。
最近偶然了解金刚石薄膜这个技术,包括MPCVD技术制备金刚石膜,从文献中看到气源只需要氢气和甲烷的混合气体,非常符合我们的实验需求,因此看看能不能应用到我们的实验上。各路大神有哪位了解具体的技术细节吗?以及国内哪些单位和老师可以提供这方面的技术支持?
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我们有mpcvd设备,可以提供镀膜服务
请问你们是用甲烷作为碳源吗?镀出来的膜是什么效果?之前我这边试验的结果镀上去都是粉末状的,一擦就掉了
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