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电子束蒸发镀金工艺请教

作者 akatsukiU: 来源: 小木虫 700 14 举报帖子

请教一下各位镀膜大佬，现在用电子束蒸发镀金电极，镀完发现基片上的PMMA胶已经全部熔化，金完全剥离不下来，有什么方法解决吗？

相关参数：蒸发电流270mA，背底真空1*10^-4 Pa，蒸发真空度3*10^-3 Pa，速率1 A/s。（速率不高，但似乎蒸发电流有点大，可能造成基片温升过高，不知道这样解释正不正确）

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精华评论

烦躁的人生

如需代工可以联系我，13299909760（同微信）
辣条味的狗子
雪cloud

PMMA玻璃化转变温度在105°左右，检查镀膜过程中有没有开腔体加热，开腔体加热的话80°左右PMMA有可能会软化变形。
高速率的“鼓泡炸开”会影响结构吗？不影响结构就选对基片升温小的条件。
剥离用的是什么溶剂？超声功率加大一些，把丙酮换成甲苯等其他有机溶剂试试，
烦躁的人生

如需代工可以联系，13299909760
zht861128

各位大佬，想问一下各位大佬有没有电子束蒸发镀金之后的镀金边角料或者废料还有金皮，或者其他镀金废料、边角料，如果有的话，我这边大量收购，感谢
道格希尔

试试MMA/PMM双层胶剥离
myaoo