磁控溅射镀可以吗

补充：
硅片上涂950k PMMA，EBL做了微结构然后镀Cr/Au电极。因为条件有限只能用电子束蒸发做，片子是粘在玻璃片上，然后固定在背板上（背板无水冷）。现在发现镀完后表面有不同程度的褶皱，尝试了从低速率0.1A/s到高速率3A/s的多种蒸发速率，低速率时褶皱不明显但片子温升较大，高速率时几乎无温升但褶皱明显，甚至有鼓泡、炸开的现象，最终无论速率高低，都剥离困难。电子束蒸发应该是很成熟的工艺，不知道我这是什么原因呢？有什么办法解决？

@yswyx大神不过老是被系统屏蔽也不知道为啥，

估计是温度太高，碳化了

可能是真空度不够

建议把片子贴在一个薄铜片上，再试一下。玻璃散热不行的。如果有改善的话，那确实就是温升导致PMMA变性了。