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SEM线扫怎么处理

作者 lenko: 来源: 小木虫 500 10 举报帖子

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SEM线扫结果一般怎么处理，线扫的曲线怎样的平滑不会失去原有的信息？

另外就是，在做线扫的时候，线扫结果，横坐标标尺错误，该怎么办？SEM图片上的标尺是正确的返回小木虫查看更多

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精华评论

songcumt

线扫描不需要平滑，但凡平滑肯定会丢失一些数据信息的，如果你SEM和EDS用的SEM是一样的，那就直接把标尺移过去即可
lenko

引用回帖:
3楼: Originally posted by songcumt at 2020-08-25 08:17:54
线扫描不需要平滑，但凡平滑肯定会丢失一些数据信息的，如果你SEM和EDS用的SEM是一样的，那就直接把标尺移过去即可

我的目的是要看界面的成分变化，现在不平滑，界面区分不是很明显。这应该怎么处理呢？
gxytju2008

没办法，说明你做的信噪比太差，或者截面本来就不sharp，重新扫增加时间，增大spot size,甚至切fib用透射电镜做，都可能部分解决这个问题，平滑肯定不合适
songcumt

引用回帖:
4楼: Originally posted by lenko at 2020-08-25 10:43:33
我的目的是要看界面的成分变化，现在不平滑，界面区分不是很明显。这应该怎么处理呢？...

你是不是扫描速度太快了，通常这个线扫只是看个大概趋势，EELS可能会更精准一些
gxytju2008

引用回帖:
6楼: Originally posted by songcumt at 2020-08-25 12:36:16
你是不是扫描速度太快了，通常这个线扫只是看个大概趋势，EELS可能会更精准一些...

SEM咋做EELS。。
lenko

引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2020-08-25 10:47:50
没办法，说明你做的信噪比太差，或者截面本来就不sharp，重新扫增加时间，增大spot size,甚至切fib用透射电镜做，都可能部分解决这个问题，平滑肯定不合适

一般怎么提高信噪比，是因为二次电子和背散射电子的区别吗？我的线扫时间有2 min，大体上是稳定了。线扫时间的长短有什么依据吗？是不是一般还是以稳定为主（目的为得到较准确的线扫结果）
，