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lenko

木虫 (正式写手)

[求助] SEM线扫怎么处理 已有1人参与

SEM线扫结果一般怎么处理，线扫的曲线怎样的平滑不会失去原有的信息？

另外就是，在做线扫的时候，线扫结果，横坐标标尺错误，该怎么办？SEM图片上的标尺是正确的
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1楼 2020-08-24 22:08:26
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
没办法，说明你做的信噪比太差，或者截面本来就不sharp，重新扫增加时间，增大spot size,甚至切fib用透射电镜做，都可能部分解决这个问题，平滑肯定不合适

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5楼2020-08-25 10:47:50
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普通回帖

echo1994

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
2楼2020-08-24 22:43:52
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lenko: 金币+2, ★★★很有帮助 2020-08-25 10:40:06
线扫描不需要平滑，但凡平滑肯定会丢失一些数据信息的，如果你SEM和EDS用的SEM是一样的，那就直接把标尺移过去即可
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3楼2020-08-25 08:17:54
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lenko

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by songcumt at 2020-08-25 08:17:54
线扫描不需要平滑，但凡平滑肯定会丢失一些数据信息的，如果你SEM和EDS用的SEM是一样的，那就直接把标尺移过去即可

我的目的是要看界面的成分变化，现在不平滑，界面区分不是很明显。这应该怎么处理呢？
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4楼2020-08-25 10:43:33
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lenko at 2020-08-25 10:43:33
我的目的是要看界面的成分变化，现在不平滑，界面区分不是很明显。这应该怎么处理呢？...

你是不是扫描速度太快了，通常这个线扫只是看个大概趋势，EELS可能会更精准一些
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6楼2020-08-25 12:36:16
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
6楼: Originally posted by songcumt at 2020-08-25 12:36:16
你是不是扫描速度太快了，通常这个线扫只是看个大概趋势，EELS可能会更精准一些...

SEM咋做EELS。。
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7楼2020-08-25 12:56:45
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lenko

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2020-08-25 10:47:50
没办法，说明你做的信噪比太差，或者截面本来就不sharp，重新扫增加时间，增大spot size,甚至切fib用透射电镜做，都可能部分解决这个问题，平滑肯定不合适

一般怎么提高信噪比，是因为二次电子和背散射电子的区别吗？我的线扫时间有2 min，大体上是稳定了。线扫时间的长短有什么依据吗？是不是一般还是以稳定为主（目的为得到较准确的线扫结果）？
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8楼2020-08-25 13:03:03
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lenko

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by songcumt at 2020-08-25 12:36:16
你是不是扫描速度太快了，通常这个线扫只是看个大概趋势，EELS可能会更精准一些...

线扫速度，这个倒没注意诶，目前可以看到有一定的差别，在界面上。扫描速度，对于线扫怎么确定是合适的？
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9楼2020-08-25 13:04:39
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lenko

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2020-08-25 10:47:50
没办法，说明你做的信噪比太差，或者截面本来就不sharp，重新扫增加时间，增大spot size,甚至切fib用透射电镜做，都可能部分解决这个问题，平滑肯定不合适

spot size这个，在能谱线扫一般怎么选？（参数都是选的默认的，但是最终结果是要得到比较准确的线扫结果，我们老师让对线扫结果半定量处理下）一般EDS 线扫怎么设置参数，加速电压、电流大小、束斑大小、扫描速度？
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10楼2020-08-25 13:19:43
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