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lenko

木虫 (正式写手)

[求助] SEM线扫怎么处理 已有1人参与

SEM线扫结果一般怎么处理,线扫的曲线怎样的平滑不会失去原有的信息?

另外就是,在做线扫的时候,线扫结果,横坐标标尺错误,该怎么办?SEM图片上的标尺是正确的
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lenko

木虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2020-08-25 10:47:50
没办法,说明你做的信噪比太差,或者截面本来就不sharp,重新扫增加时间,增大spot size,甚至切fib用透射电镜做,都可能部分解决这个问题,平滑肯定不合适

一般怎么提高信噪比,是因为二次电子和背散射电子的区别吗?我的线扫时间有2 min,大体上是稳定了。线扫时间的长短有什么依据吗?是不是一般还是以稳定为主(目的为得到较准确的线扫结果)?
8楼2020-08-25 13:03:03
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echo1994

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

2楼2020-08-24 22:43:52
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lenko: 金币+2, ★★★很有帮助 2020-08-25 10:40:06
线扫描不需要平滑,但凡平滑肯定会丢失一些数据信息的,如果你SEM和EDS用的SEM是一样的,那就直接把标尺移过去即可
3楼2020-08-25 08:17:54
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lenko

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by songcumt at 2020-08-25 08:17:54
线扫描不需要平滑,但凡平滑肯定会丢失一些数据信息的,如果你SEM和EDS用的SEM是一样的,那就直接把标尺移过去即可

我的目的是要看界面的成分变化,现在不平滑,界面区分不是很明显。这应该怎么处理呢?
4楼2020-08-25 10:43:33
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