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SEM线扫怎么处理

作者 lenko: 来源: 小木虫 500 10 举报帖子

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SEM线扫结果一般怎么处理，线扫的曲线怎样的平滑不会失去原有的信息？

另外就是，在做线扫的时候，线扫结果，横坐标标尺错误，该怎么办？SEM图片上的标尺是正确的返回小木虫查看更多

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精华评论

lenko

引用回帖:
6楼: Originally posted by songcumt at 2020-08-25 12:36:16
你是不是扫描速度太快了，通常这个线扫只是看个大概趋势，EELS可能会更精准一些...

线扫速度，这个倒没注意诶，目前可以看到有一定的差别，在界面上。扫描速度，对于线扫怎么确定是合适的？
lenko

引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2020-08-25 10:47:50
没办法，说明你做的信噪比太差，或者截面本来就不sharp，重新扫增加时间，增大spot size,甚至切fib用透射电镜做，都可能部分解决这个问题，平滑肯定不合适

spot size这个，在能谱线扫一般怎么选？（参数都是选的默认的，但是最终结果是要得到比较准确的线扫结果，我们老师让对线扫结果半定量处理下）一般EDS 线扫怎么设置参数，加速电压、电流大小、束斑大小、扫描速度
，
songcumt

引用回帖:
9脗楼: Originally posted by lenko at 2020-08-25 13:04:39
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