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铁电薄膜的顶电极Au的颜色为何是暗色？

作者 zmm870305: 来源: 小木虫 450 9 举报帖子

最近用磁控给铁电薄膜做Au的顶电极时，发现Au电极的颜色不是金黄色，而是一种类似铁锈的暗色，不知道众位做铁电薄膜的高手遇到过这个问题没？这个对铁电性能的测试是否有影响？大家做完电极测试铁电性能的成功率高么？呵呵，初入此行，疑问颇多，希望高手们多指教。返回小木虫查看更多

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精华评论

pcsmine

我以前做过，颜色是有点暗，不过一般都是做Pt上电极，我现在就是做的Pt。
zmm870305

引用回帖:
2楼: Originally posted by pcsmine at 2012-03-15 16:52:16:
我以前做过，颜色是有点暗，不过一般都是做Pt上电极，我现在就是做的Pt。

那么你觉得是做Au好还是Pt好呢？看到很多文献都是做的Au，所以才这样，发现薄膜的铁电性好难测吧，是否有这感受呢，呵呵
pcsmine

你用的什么底电极呢？如果是Pt，建议上电极一样用Pt。你做的是什么薄膜，我看的文献基本都是用Pt电极的。至于测试，不怎么难啊。
zmm870305

引用回帖:
4楼: Originally posted by pcsmine at 2012-03-15 17:09:54:
你用的什么底电极呢？如果是Pt，建议上电极一样用Pt。你做的是什么薄膜，我看的文献基本都是用Pt电极的。至于测试，不怎么难啊。

做的铌酸钾钠，发现大部分文献用的Au，测试时候老是一条直线，不知道有什么技巧没，你做的是什么薄膜�
，
pcsmine

PZT，可能是材料的原因，PZT很好测的。
qiqiqiqi

楼主镀了多长时间啊？时间短的话有可能是暗色，我一般镀5分钟是金黄色
zmm870305

引用回帖:
7楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-03-15 19:17:28:
楼主镀了多长时间啊？时间短的话有可能是暗色，我一般镀5分钟是金黄色

镀了5分钟，功率80W，你做的什么材料啊，是否跟材料厚度有关哦？