最近用磁控给铁电薄膜做Au的顶电极时,发现Au电极的颜色不是金黄色,而是一种类似铁锈的暗色,不知道众位做铁电薄膜的高手遇到过这个问题没?这个对铁电性能的测试是否有影响?大家做完电极测试铁电性能的成功率高么?呵呵,初入此行,疑问颇多,希望高手们多指教。 返回小木虫查看更多
我以前做过,颜色是有点暗,不过一般都是做Pt上电极,我现在就是做的Pt。
你用的什么底电极呢?如果是Pt,建议上电极一样用Pt。你做的是什么薄膜,我看的文献基本都是用Pt电极的。至于测试,不怎么难啊。
PZT,可能是材料的原因,PZT很好测的。
楼主镀了多长时间啊?时间短的话有可能是暗色,我一般镀5分钟是金黄色
我以前做过,颜色是有点暗,不过一般都是做Pt上电极,我现在就是做的Pt。
那么你觉得是做Au好还是Pt好呢?看到很多文献都是做的Au,所以才这样,发现薄膜的铁电性好难测吧,是否有这感受呢,呵呵
你用的什么底电极呢?如果是Pt,建议上电极一样用Pt。你做的是什么薄膜,我看的文献基本都是用Pt电极的。至于测试,不怎么难啊。
做的铌酸钾钠,发现大部分文献用的Au,测试时候老是一条直线,不知道有什么技巧没,你做的是什么薄膜�
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PZT,可能是材料的原因,PZT很好测的。
楼主镀了多长时间啊?时间短的话有可能是暗色,我一般镀5分钟是金黄色
镀了5分钟,功率80W,你做的什么材料啊,是否跟材料厚度有关哦?