最近用磁控给铁电薄膜做Au的顶电极时，发现Au电极的颜色不是金黄色，而是一种类似铁锈的暗色，不知道众位做铁电薄膜的高手遇到过这个问题没？这个对铁电性能的测试是否有影响？大家做完电极测试铁电性能的成功率高么？呵呵，初入此行，疑问颇多，希望高手们多指教。 返回小木虫查看更多