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zmm870305

金虫 (正式写手)

[求助] 铁电薄膜的顶电极Au的颜色为何是暗色？

最近用磁控给铁电薄膜做Au的顶电极时，发现Au电极的颜色不是金黄色，而是一种类似铁锈的暗色，不知道众位做铁电薄膜的高手遇到过这个问题没？这个对铁电性能的测试是否有影响？大家做完电极测试铁电性能的成功率高么？呵呵，初入此行，疑问颇多，希望高手们多指教。
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1楼 2012-03-15 16:09:50
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pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
zmm870305: 金币+4, ★有帮助 2012-03-15 17:02:02
wenjing120: 金币+1, 鼓励应助！欢迎常来科研版！ 2012-03-15 17:42:40
我以前做过，颜色是有点暗，不过一般都是做Pt上电极，我现在就是做的Pt。
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2楼2012-03-15 16:52:16
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zmm870305

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pcsmine at 2012-03-15 16:52:16:
我以前做过，颜色是有点暗，不过一般都是做Pt上电极，我现在就是做的Pt。

那么你觉得是做Au好还是Pt好呢？看到很多文献都是做的Au，所以才这样，发现薄膜的铁电性好难测吧，是否有这感受呢，呵呵
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3楼2012-03-15 17:01:35
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pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

你用的什么底电极呢？如果是Pt，建议上电极一样用Pt。你做的是什么薄膜，我看的文献基本都是用Pt电极的。至于测试，不怎么难啊。
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4楼2012-03-15 17:09:54
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zmm870305

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by pcsmine at 2012-03-15 17:09:54:
你用的什么底电极呢？如果是Pt，建议上电极一样用Pt。你做的是什么薄膜，我看的文献基本都是用Pt电极的。至于测试，不怎么难啊。

做的铌酸钾钠，发现大部分文献用的Au，测试时候老是一条直线，不知道有什么技巧没，你做的是什么薄膜啊？
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5楼2012-03-15 17:22:57
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pcsmine

木虫 (著名写手)
PZT，可能是材料的原因，PZT很好测的。
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6楼2012-03-15 17:24:33
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
longwave: 金币+1, 鼓励交流! 2012-03-15 19:29:11
zmm870305: 金币+4, ★有帮助 2012-03-15 19:58:00
楼主镀了多长时间啊？时间短的话有可能是暗色，我一般镀5分钟是金黄色
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
7楼2012-03-15 19:17:28
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zmm870305

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-03-15 19:17:28:
楼主镀了多长时间啊？时间短的话有可能是暗色，我一般镀5分钟是金黄色

镀了5分钟，功率80W，你做的什么材料啊，是否跟材料厚度有关哦？
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8楼2012-03-15 19:57:50
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shuaiy662

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
wenjing120: 金币+1, 鼓励交流！欢迎常来科研版！ 2012-03-16 09:11:57
zmm870305: 金币+2 2012-03-16 09:44:12
感觉应该是真空度没有抽够的原因，你本底真空多少？
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9楼2012-03-15 23:23:00
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zmm870305

金虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by shuaiy662 at 2012-03-15 23:23:00:
感觉应该是真空度没有抽够的原因，你本底真空多少？

应该不是吧，本底真空度都到-4了，是蒸镀的时候吧？
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10楼2012-03-16 09:44:00
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