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zmm870305

金虫 (正式写手)

[求助] 铁电薄膜的顶电极Au的颜色为何是暗色?

最近用磁控给铁电薄膜做Au的顶电极时,发现Au电极的颜色不是金黄色,而是一种类似铁锈的暗色,不知道众位做铁电薄膜的高手遇到过这个问题没?这个对铁电性能的测试是否有影响?大家做完电极测试铁电性能的成功率高么?呵呵,初入此行,疑问颇多,希望高手们多指教。
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zmm870305

金虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-03-15 19:17:28:
楼主镀了多长时间啊?时间短的话有可能是暗色,我一般镀5分钟是金黄色

镀了5分钟,功率80W,你做的什么材料啊,是否跟材料厚度有关哦?
8楼2012-03-15 19:57:50
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pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
zmm870305: 金币+4, 有帮助 2012-03-15 17:02:02
wenjing120: 金币+1, 鼓励应助!欢迎常来科研版! 2012-03-15 17:42:40
我以前做过,颜色是有点暗,不过一般都是做Pt上电极,我现在就是做的Pt。
2楼2012-03-15 16:52:16
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zmm870305

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by pcsmine at 2012-03-15 16:52:16:
我以前做过,颜色是有点暗,不过一般都是做Pt上电极,我现在就是做的Pt。

那么你觉得是做Au好还是Pt好呢?看到很多文献都是做的Au,所以才这样,发现薄膜的铁电性好难测吧,是否有这感受呢,呵呵
3楼2012-03-15 17:01:35
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pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

你用的什么底电极呢?如果是Pt,建议上电极一样用Pt。你做的是什么薄膜,我看的文献基本都是用Pt电极的。至于测试,不怎么难啊。
4楼2012-03-15 17:09:54
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