[求助] 铁电薄膜开裂问题

1楼2011-07-01 17:47:44

pcsmine

木虫 (著名写手)

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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与，欢迎常来~ 2011-07-02 07:59:06

是不是温度过高？

2楼2011-07-01 18:16:38

plustb

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【答案】应助回帖

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shecf(金币+1): 2011-07-01 18:32:34
99zhu99(金币+1): sol-gel做的，不知是不是溶液的问题，想通条件下的BNT没有此情况 2011-07-08 14:33:54

溶胶凝胶还是物理溅射沉积？
推测是成膜质量有问题吧造成粘附力不好退火之后微裂纹扩大直接开裂

3楼2011-07-01 18:20:06

key2dream

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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:51:11

最近不知道怎么搞的，液相法做的CuO薄膜也是总开裂，到现在也不知道开裂的原因。膜也不厚，几百个纳米，液相法做的，没有退火也没有高温，薄膜从溶液中取出来的时候非常好，一干了就全开裂剥落，衬底上什么也没留。

4楼2011-07-02 13:56:11

benxiaohaimo

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【答案】应助回帖

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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-03 07:44:21

可能是衬底和薄膜的热膨胀系数相差太大导致的，可以换换衬底试试，或者换其他温度

开心每一天

5楼2011-07-02 16:57:08

guody

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zhaohaixing(金币+2): 谢谢参与~ 2011-07-03 07:44:29

薄膜开裂涉及到的因素很多：
首先要考虑薄膜与衬底的匹配，如果晶格失配度太大，非常容易开裂；
另外就是制备过程中，应力积累，薄膜与衬底的热膨胀系数相差较多，等诸多因素都会产生应力，当应力达到一定程度，自然就会导致薄膜开裂
而且也没有说明制备工艺，如果是sol-gel之类的方法，则可能溶液也会导致开裂，空气湿度，等等都会有可能导致开裂
如果是PLD或者sputtering等工艺，则可以集中考虑晶格失配等因素导致的应力问题
建议以后问问题的时候，把问题说明详细一些。

赞一下(2人)

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6楼2011-07-03 00:06:05

tickychao206

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【答案】应助回帖

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zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:51:24

sol-gel很容易开裂的
如果是磁控的话，建议刚开始溅射的时候，不要加热太高，可以一边溅射，一边慢慢从100度往上升。
尤其是在退火的时候，建议不要直接自然冷却，可以稍微控制一下退火炉缓慢降温。此外，退火后最好是能等薄膜冷却到100度以下再取出薄膜。

正心修身！

7楼2011-07-06 19:17:46

99zhu99

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lpszk(金币+2): 鼓励交流 2011-07-08 16:09:53

引用回帖:

Originally posted by guody at 2011-07-03 00:06:05:
薄膜开裂涉及到的因素很多：
首先要考虑薄膜与衬底的匹配，如果晶格失配度太大，非常容易开裂；
另外就是制备过程中，应力积累，薄膜与衬底的热膨胀系数相差较多，等诸多因素都会产生应力，当应力达到一定程度， ...

谢谢你的建议，我是sol-gel做的，但是同批做的BNT就没有这个情况出现，Na和K同系的呀，差别怎么这个大呢

8楼2011-07-08 14:35:54