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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁电薄膜开裂问题
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99zhu99

铁虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜开裂问题

请教大家，我分段退火的BKT薄膜在AFM下都是开裂的，是什么原因呢？
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1楼 2011-07-01 17:47:44
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tickychao206

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:51:24
sol-gel很容易开裂的
如果是磁控的话，建议刚开始溅射的时候，不要加热太高，可以一边溅射，一边慢慢从100度往上升。
尤其是在退火的时候，建议不要直接自然冷却，可以稍微控制一下退火炉缓慢降温。此外，退火后最好是能等薄膜冷却到100度以下再取出薄膜。
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正心修身！
7楼2011-07-06 19:17:46
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pcsmine

木虫 (著名写手)
★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与，欢迎常来~ 2011-07-02 07:59:06
是不是温度过高？
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2楼2011-07-01 18:16:38
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plustb

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
shecf(金币+1): 2011-07-01 18:32:34
99zhu99(金币+1): sol-gel做的，不知是不是溶液的问题，想通条件下的BNT没有此情况 2011-07-08 14:33:54
溶胶凝胶 还是物理溅射沉积？
推测是成膜质量有问题吧 造成粘附力不好  退火之后微裂纹扩大直接开裂
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3楼2011-07-01 18:20:06
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key2dream

金虫 (小有名气)
★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:51:11
最近不知道怎么搞的，液相法做的CuO薄膜也是总开裂，到现在也不知道开裂的原因。膜也不厚，几百个纳米，液相法做的，没有退火也没有高温，薄膜从溶液中取出来的时候非常好，一干了就全开裂剥落，衬底上什么也没留。
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4楼2011-07-02 13:56:11
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