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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁电薄膜开裂问题
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99zhu99

铁虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜开裂问题

请教大家，我分段退火的BKT薄膜在AFM下都是开裂的，是什么原因呢？
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1楼2011-07-01 17:47:44
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99zhu99

铁虫 (初入文坛)
★ ★
lpszk(金币+2): 鼓励交流 2011-07-08 16:09:53
引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-07-03 00:06:05:
薄膜开裂涉及到的因素很多：
首先要考虑薄膜与衬底的匹配，如果晶格失配度太大，非常容易开裂；
另外就是制备过程中，应力积累，薄膜与衬底的热膨胀系数相差较多，等诸多因素都会产生应力，当应力达到一定程度， ...

谢谢你的建议，我是sol-gel做的，但是同批做的BNT就没有这个情况出现，Na和K同系的呀，差别怎么这个大呢
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8楼2011-07-08 14:35:54
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pcsmine

木虫 (著名写手)
★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与，欢迎常来~ 2011-07-02 07:59:06
是不是温度过高？
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2楼2011-07-01 18:16:38
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plustb

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
shecf(金币+1): 2011-07-01 18:32:34
99zhu99(金币+1): sol-gel做的，不知是不是溶液的问题，想通条件下的BNT没有此情况 2011-07-08 14:33:54
溶胶凝胶 还是物理溅射沉积？
推测是成膜质量有问题吧 造成粘附力不好  退火之后微裂纹扩大直接开裂
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3楼2011-07-01 18:20:06
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key2dream

金虫 (小有名气)
★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:51:11
最近不知道怎么搞的，液相法做的CuO薄膜也是总开裂，到现在也不知道开裂的原因。膜也不厚，几百个纳米，液相法做的，没有退火也没有高温，薄膜从溶液中取出来的时候非常好，一干了就全开裂剥落，衬底上什么也没留。
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4楼2011-07-02 13:56:11
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