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564516276

新虫 (初入文坛)

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[求助] 薄膜顶电极如何制备？

我是做多铁薄膜的，想测其电性能？想请教一些顶电极的问题？多谢赐教。
1、顶电极一定要用Pt吗？用铜、银或其他可不可以？
2、顶电极一定要做成点状吗？可不可以和底电极一样弄成膜状？
3、怎样把顶电极做成点状？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制备的，还是可以直接购买？只好顶电极后该掩模板可需除去？怎么除去？
4、顶电极可不可以由铁电测试处镀上去？还是必须自己镀？
5、顶电极只能用磁控溅射法镀上去吗？可以用电烙铁镀么？
6、磁控溅射的条件是？可否具体些？
7、在哪买pt靶材？联系方式？价格？
无论回答哪一问都十分感谢。

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路漫漫其修远兮，吾将上下而求索

1楼2011-05-27 13:00:24

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silveruranus

铁虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
564516276(金币+5): O(∩_∩)O谢谢，很详细 2011-05-27 22:04:09
zhaohaixing(金币+4): thank you for your attention~~~ 2011-06-27 19:39:46

引用回帖:

Originally posted by 564516276 at 2011-05-27 13:00:24:
我是做多铁薄膜的，想测其电性能？想请教一些顶电极的问题？多谢赐教。
1、顶电极一定要用Pt吗？用铜、银或其他可不可以？
2、顶电极一定要做成点状吗？可不可以和底电极一样弄成膜状？
3、怎样把顶电极做成点 ...

1、顶电极一定要用Pt吗？用铜、银或其他可不可以？
Au也可以，其他的我没有用过，Cu易氧化吧，Ag或许可以，我不清楚

2、顶电极一定要做成点状吗？可不可以和底电极一样弄成膜状？
最好点状，并且越小越好。大了Leakage大，或者易Breakdown

3、怎样把顶电极做成点状？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制备的，还是可以直接购买？只好顶电极后该掩模板可需除去？怎么除去？
掩膜板可以购买，你到网上找做蚀刻的定做就行了。也可自己找个铜片用针扎，就是面积不准

4、顶电极可不可以由铁电测试处镀上去？还是必须自己镀？
顶电极要自己在测试之前做。

5、顶电极只能用磁控溅射法镀上去吗？可以用电烙铁镀么？
一般用溅射。电烙铁怎么搞不知道。

6、磁控溅射的条件是？可否具体些？
忘记了，设备间或许不同。

7、在哪买pt靶材？联系方式？价格？
Google。

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2楼2011-05-27 17:27:27

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guody

铁杆木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
shecf(金币+5): 谢谢参与交流~ 2011-05-28 08:24:21

1、顶电极一定要用Pt吗？用铜、银或其他可不可以？
我用过Pt, Au，Cu做点电极，其中Cu容易氧化，制备后不能热处理，而且必须马上测试性能，否则就氧化了；至于Ag的话，用在陶瓷上的有过。
2、顶电极一定要做成点状吗？可不可以和底电极一样弄成膜状？
从理论上来说，可以做成膜，但是有个前提，你要保证你的薄膜质量非常高：不存在厚度不均，不存在裂缝，孔洞等缺陷；否则你的厚度怎么来算？这也是选择点电极的原因。
3、怎样把顶电极做成点状？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制备的，还是可以直接购买？只好顶电极后该掩模板可需除去？怎么除去？
直接购买，制备好顶电极后，把掩模板拿下来即可。这个不是光刻。
4、顶电极可不可以由铁电测试处镀上去？还是必须自己镀？
？
5、顶电极只能用磁控溅射法镀上去吗？可以用电烙铁镀么？
你很厉害，估计你的膜也很强。

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求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。

3楼2011-05-27 20:48:04

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