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564516276新虫 (初入文坛)
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[求助]
薄膜顶电极如何制备？
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我是做多铁薄膜的，想测其电性能？想请教一些顶电极的问题？多谢赐教。 1、顶电极一定要用Pt吗？用铜、银或其他可不可以？ 2、顶电极一定要做成点状吗？可不可以和底电极一样弄成膜状？ 3、怎样把顶电极做成点状？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制备的，还是可以直接购买？只好顶电极后该掩模板可需除去？怎么除去？ 4、顶电极可不可以由铁电测试处镀上去？还是必须自己镀？ 5、顶电极只能用磁控溅射法镀上去吗？可以用电烙铁镀么？ 6、磁控溅射的条件是？可否具体些？ 7、在哪买pt靶材？联系方式？价格？ 无论回答哪一问都十分感谢。 |
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9楼2018-01-23 21:45:47
silveruranus
铁虫 (正式写手)
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【答案】应助回帖
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564516276(金币+5): O(∩_∩)O谢谢，很详细 2011-05-27 22:04:09
zhaohaixing(金币+4): thank you for your attention~~~ 2011-06-27 19:39:46
564516276(金币+5): O(∩_∩)O谢谢，很详细 2011-05-27 22:04:09
zhaohaixing(金币+4): thank you for your attention~~~ 2011-06-27 19:39:46
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1、顶电极一定要用Pt吗？用铜、银或其他可不可以？ Au也可以，其他的我没有用过，Cu易氧化吧，Ag或许可以，我不清楚 2、顶电极一定要做成点状吗？可不可以和底电极一样弄成膜状？ 最好点状，并且越小越好。大了Leakage大，或者易Breakdown 3、怎样把顶电极做成点状？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制备的，还是可以直接购买？只好顶电极后该掩模板可需除去？怎么除去？ 掩膜板可以购买，你到网上找做蚀刻的定做就行了。也可自己找个铜片用针扎，就是面积不准  4、顶电极可不可以由铁电测试处镀上去？还是必须自己镀？ 顶电极要自己在测试之前做。 5、顶电极只能用磁控溅射法镀上去吗？可以用电烙铁镀么？ 一般用溅射。电烙铁怎么搞不知道。   6、磁控溅射的条件是？可否具体些？ 忘记了，设备间或许不同。 7、在哪买pt靶材？联系方式？价格？ Google。 |
2楼2011-05-27 17:27:27
guody
铁杆木虫 (正式写手)
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【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
shecf(金币+5): 谢谢参与交流~ 2011-05-28 08:24:21
shecf(金币+5): 谢谢参与交流~ 2011-05-28 08:24:21
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1、顶电极一定要用Pt吗？用铜、银或其他可不可以？ 我用过Pt, Au，Cu做点电极，其中Cu容易氧化，制备后不能热处理，而且必须马上测试性能，否则就氧化了；至于Ag的话，用在陶瓷上的有过。 2、顶电极一定要做成点状吗？可不可以和底电极一样弄成膜状？ 从理论上来说，可以做成膜，但是有个前提，你要保证你的薄膜质量非常高：不存在厚度不均，不存在裂缝，孔洞等缺陷；否则你的厚度怎么来算？这也是选择点电极的原因。 3、怎样把顶电极做成点状？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制备的，还是可以直接购买？只好顶电极后该掩模板可需除去？怎么除去？ 直接购买，制备好顶电极后，把掩模板拿下来即可。这个不是光刻。 4、顶电极可不可以由铁电测试处镀上去？还是必须自己镀？ ？ 5、顶电极只能用磁控溅射法镀上去吗？可以用电烙铁镀么？ 你很厉害，估计你的膜也很强。 |
3楼2011-05-27 20:48:04
564516276
新虫 (初入文坛)
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4楼2011-05-27 22:08:03
