| 查看: 2736 | 回复: 8 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
564516276新虫 (初入文坛)
|
[求助]
薄膜顶电极如何制备？
|
||
|
我是做多铁薄膜的，想测其电性能？想请教一些顶电极的问题？多谢赐教。 1、顶电极一定要用Pt吗？用铜、银或其他可不可以？ 2、顶电极一定要做成点状吗？可不可以和底电极一样弄成膜状？ 3、怎样把顶电极做成点状？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制备的，还是可以直接购买？只好顶电极后该掩模板可需除去？怎么除去？ 4、顶电极可不可以由铁电测试处镀上去？还是必须自己镀？ 5、顶电极只能用磁控溅射法镀上去吗？可以用电烙铁镀么？ 6、磁控溅射的条件是？可否具体些？ 7、在哪买pt靶材？联系方式？价格？ 无论回答哪一问都十分感谢。 |
回复此楼» 猜你喜欢
华师大读博
已经有3人回复
-
急需审稿人！！！
已经有3人回复
-
申博/考博
已经有8人回复
-
一志愿A区211，22408 321求调剂
已经有8人回复
-
295分求调剂
已经有6人回复
-
一志愿中科大材料与化工，353分还有调剂学校吗
已经有13人回复
-
085600材料与化工调剂
已经有6人回复
-
期刊推荐
已经有5人回复
-
有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业
已经有7人回复
-
又一批高校组建人工智能学院 师资行吗 不是骗人吗
已经有4人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助大师：薄膜接两个上电极测量，怎么计算介电常数等
已经有16人回复
- 急求有关多铁薄膜测试问题解答
已经有5人回复
- 【求助】本征硅薄膜电极制备
已经有12人回复
- 【交流】请问：做有机太阳能电池的金属电极时，目前有没有新方法
已经有21人回复
- 【请教】薄膜方阻的测量电极怎么制备啊？
已经有5人回复
- 【求助】TiO2薄膜电极的制备
已经有9人回复
- 【求助】四点探针法怎么测碳化硅的电阻
已经有6人回复
- 【专题介绍】CIS量子点及其薄膜太阳能电池
已经有81人回复
|
本帖内容被屏蔽 |
7楼2011-06-28 14:15:45
silveruranus
铁虫 (正式写手)
- 应助: 16 (小学生)
- 金币: 24.9
- 散金: 1001
- 红花: 3
- 帖子: 759
- 在线: 184.9小时
- 虫号: 340447
- 注册: 2007-04-07
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★
564516276(金币+5): O(∩_∩)O谢谢，很详细 2011-05-27 22:04:09
zhaohaixing(金币+4): thank you for your attention~~~ 2011-06-27 19:39:46
564516276(金币+5): O(∩_∩)O谢谢，很详细 2011-05-27 22:04:09
zhaohaixing(金币+4): thank you for your attention~~~ 2011-06-27 19:39:46
|
1、顶电极一定要用Pt吗？用铜、银或其他可不可以？ Au也可以，其他的我没有用过，Cu易氧化吧，Ag或许可以，我不清楚 2、顶电极一定要做成点状吗？可不可以和底电极一样弄成膜状？ 最好点状，并且越小越好。大了Leakage大，或者易Breakdown 3、怎样把顶电极做成点状？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制备的，还是可以直接购买？只好顶电极后该掩模板可需除去？怎么除去？ 掩膜板可以购买，你到网上找做蚀刻的定做就行了。也可自己找个铜片用针扎，就是面积不准  4、顶电极可不可以由铁电测试处镀上去？还是必须自己镀？ 顶电极要自己在测试之前做。 5、顶电极只能用磁控溅射法镀上去吗？可以用电烙铁镀么？ 一般用溅射。电烙铁怎么搞不知道。   6、磁控溅射的条件是？可否具体些？ 忘记了，设备间或许不同。 7、在哪买pt靶材？联系方式？价格？ Google。 |
2楼2011-05-27 17:27:27
guody
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 24 (小学生)
- 金币: 7452.8
- 散金: 12
- 红花: 5
- 帖子: 459
- 在线: 186.5小时
- 虫号: 674848
- 注册: 2008-12-15
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
shecf(金币+5): 谢谢参与交流~ 2011-05-28 08:24:21
shecf(金币+5): 谢谢参与交流~ 2011-05-28 08:24:21
|
1、顶电极一定要用Pt吗？用铜、银或其他可不可以？ 我用过Pt, Au，Cu做点电极，其中Cu容易氧化，制备后不能热处理，而且必须马上测试性能，否则就氧化了；至于Ag的话，用在陶瓷上的有过。 2、顶电极一定要做成点状吗？可不可以和底电极一样弄成膜状？ 从理论上来说，可以做成膜，但是有个前提，你要保证你的薄膜质量非常高：不存在厚度不均，不存在裂缝，孔洞等缺陷；否则你的厚度怎么来算？这也是选择点电极的原因。 3、怎样把顶电极做成点状？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制备的，还是可以直接购买？只好顶电极后该掩模板可需除去？怎么除去？ 直接购买，制备好顶电极后，把掩模板拿下来即可。这个不是光刻。 4、顶电极可不可以由铁电测试处镀上去？还是必须自己镀？ ？ 5、顶电极只能用磁控溅射法镀上去吗？可以用电烙铁镀么？ 你很厉害，估计你的膜也很强。 |
3楼2011-05-27 20:48:04
564516276
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 60.5
- 散金: 2
- 帖子: 27
- 在线: 9.2小时
- 虫号: 1101184
- 注册: 2010-09-17
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2011-05-27 22:08:03
5