当前位置: 首页 > 材料工程 >射频功率和质量流量计相互有影响吗?

射频功率和质量流量计相互有影响吗?

作者 理工小伟
来源: 小木虫 400 8 举报帖子
+关注

磁控溅射射频功率超过200W时,质量流量计自动关闭

 返回小木虫查看更多

今日热帖
  • 精华评论
  • 野人禾禾

    会的,如果设备和电源的屏蔽做不好,MFC以及真空计都会受电磁波影响的。

    一方面,看看电源能否加强屏蔽;另一方面MFC做屏蔽,你试试包上铝箔纸试试会不会改善,

  • at2046

    检查下射频屏蔽做好没有,或者考虑增加隔离电源。

  • 理工小伟

    可以,就是流量计是旋钮式的

猜你喜欢