磁控溅射射频功率超过200W时,质量流量计自动关闭 返回小木虫查看更多
会的,如果设备和电源的屏蔽做不好,MFC以及真空计都会受电磁波影响的。 一方面,看看电源能否加强屏蔽;另一方面MFC做屏蔽,你试试包上铝箔纸试试会不会改善,
检查下射频屏蔽做好没有,或者考虑增加隔离电源。
可以,就是流量计是旋钮式的
会的,如果设备和电源的屏蔽做不好,MFC以及真空计都会受电磁波影响的。
一方面,看看电源能否加强屏蔽;另一方面MFC做屏蔽,你试试包上铝箔纸试试会不会改善,
检查下射频屏蔽做好没有,或者考虑增加隔离电源。
可以,就是流量计是旋钮式的