磁控溅射靶材在上还是基片台在上？
如图是关于磁控溅射的装置图，想问一下，实验员手中的是靶材吗？磁控溅射装置靶材位于仪器顶盖上，还是基片台位于仪器顶盖上？谢谢各位虫友
返回小木虫查看更多
今日热帖
板块导航
- 网络生活
- 资源共享
- 化学化工
- 专业学科
- 科研生活
- 生物医药
- 材料
- 计算模拟
- 学术交流
- 出国留学
- 注册执考
24小时热帖
换一批
应助之星
- 下载小木虫APP
- 与700万科研达人随时交流
-
二维码
-
IOS
-
安卓
京公网安备 11010802022153号
赐贾校笛樵笔种心玫氖前胁模ㄓ械阆穸趸璋校�
图中的这个设备，靶材在顶盖上，
这是靶在上，样品在下，垂直向下成膜方式。