光学玻璃在真空气氛中模压发雾原因求助!
光学玻璃Wafer在真空气氛下模压,发现玻璃表面产生大量气孔,同时玻璃表面严重发雾,同一片玻璃不同位置发雾状况不同,与模具接触较多地方发雾较严重,反之则相反,规律不太明显。
另外,光学玻璃真空气氛下退火总是出现气泡,不知道原因是什么?求助各位大神,提供分析思路也可,必重谢!!! 返回小木虫查看更多
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没有专家懂吗?
模具本身的表面粗糙度如何?如果这个能排除
那么模具接触多的地方,温度高,玻璃化掉后膨胀也大,冷却收缩的微观不均匀就大。
模具表面粗糙度小于5nm,应该可以排除。如果是模具表面粗糙引起的孔洞,不应该那么大,孔洞直径大多数达到200-300nm以上,看起来更像气泡
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