磁控溅射沉积涂层时样品表面有发白,灰蒙蒙的情况,请各位大神指教可能是什么原因 返回小木虫查看更多
最好简要描述一下你的工艺 发白的问题原因有很多,每种材料都有特殊性
什么涂层?
楼主用的什么涂层
楼主在什么基体上镀,而且也要看什么涂层
被氧化了,真空度抽的不够,腔体里面残留的空气跟你溅射的涂层发生了反应
最好简要描述一下你的工艺
发白的问题原因有很多,每种材料都有特殊性
好巧
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什么涂层?
楼主用的什么涂层
楼主在什么基体上镀,而且也要看什么涂层
被氧化了,真空度抽的不够,腔体里面残留的空气跟你溅射的涂层发生了反应