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求助,磁控溅射镀膜样品发白现象

作者 tzsigouzzz
来源: 小木虫 350 7 举报帖子
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磁控溅射沉积涂层时样品表面有发白,灰蒙蒙的情况,请各位大神指教可能是什么原因

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  • 精华评论
  • 野人禾禾

    最好简要描述一下你的工艺
    发白的问题原因有很多,每种材料都有特殊性

  • 野人禾禾

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by 091820053 at 2018-05-27 14:53:42
    我们也做磁控

    好巧

  • williamsh

    什么涂层?

  • sihaiyi

    楼主用的什么涂层

  • 梦幻1993

    楼主在什么基体上镀,而且也要看什么涂层

  • 巡山老爷爷

    被氧化了,真空度抽的不够,腔体里面残留的空气跟你溅射的涂层发生了反应

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