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磁控溅射漏气 怎样知道哪里漏气

作者 江林93
来源: 小木虫 150 3 举报帖子
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磁控溅射些微漏气 1秒钟大概0.2帕 怎样知道是哪里在漏气

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  • 精华评论
  • 野人禾禾

    正规可以用检漏仪呀,非正规可以用酒精或这IPA测试真空度变化,进行密封面的检查;最简陋的我见过用酒精里掺杂红墨水。。。

    其实设备的关键几个部位是明确的,重点检查仔细一点就能发现,

  • aheyingwhg

    你这叫微漏气,大漏是啥样的?

  • shrimp1988

    简单的就是可疑部位喷酒精,一般没谁上检漏仪

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