射频生长的NiO靶，没有通入氧气，长了30nm的厚度，始终测不出峰，带温生长也一样不行。 返回小木虫查看更多
通氧试试？现在是什么结果？
厚度太薄，沉积时间长点试一下，或者用掠入射XRD！祝好！
太薄了，直接同步辐射试试吧
太薄了，而且磁控溅射不加温，容易生长多晶膜，XRD强度肯定弱。建议膜镀厚或者用高灵敏度的测试仪器，XPS试试 ，
至少也要200nm以上吧，以前我们测XRD都要500nm以上的
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通氧试试？现在是什么结果？
厚度太薄，沉积时间长点试一下，或者用掠入射XRD！祝好！
太薄了，直接同步辐射试试吧
太薄了，而且磁控溅射不加温，容易生长多晶膜，XRD强度肯定弱。建议膜镀厚或者用高灵敏度的测试仪器，XPS试试
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至少也要200nm以上吧，以前我们测XRD都要500nm以上的