本人做了一段时间的在柔性衬底上磁控溅射镀金属颗粒，先把柔性膜清洗，刻蚀，再膜，但是结合性始终不好，膜与金属电极层有空隙。怎样解决软的基地镀硬的材料的模量匹配问题呢？也有可能镀膜过程中温度（尽管有水冷却，是不是有随功率或天气因素不好控制波动的因素？）的波动，这样就还存在衬底与金属层膨胀收缩程度不同带来结构上的问题等等，造成界面结构、表面结构不理想，动态下的结构稳定性不理想等问题。该怎么解决呢？ 返回小木虫查看更多