薄膜的XRD衍射图谱,用多大的入射角?需要用掠入式的吗? 返回小木虫查看更多
可以采用掠入射的方法对薄膜进行测试。
这么厚的膜正常扫就可以了,首先你这个膜是单晶的还是多晶的,单晶的就比较麻烦,需要用四元衍射,多晶的就直接扫一遍就行了,
2°。3°都可以吧。我用的2°,500nm的
可以采用掠入射的方法对薄膜进行测试。
这么厚的膜正常扫就可以了,首先你这个膜是单晶的还是多晶的,单晶的就比较麻烦,需要用四元衍射,多晶的就直接扫一遍就行了,
2°。3°都可以吧。我用的2°,500nm的