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测1um厚薄膜的XRD衍射图谱,用多大的入射角?需要用掠入式的吗?

作者 小妞的口袋
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薄膜的XRD衍射图谱,用多大的入射角?需要用掠入式的吗?

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  • 精华评论
  • guxue

    可以采用掠入射的方法对薄膜进行测试。

  • kangye_1989

    这么厚的膜正常扫就可以了,首先你这个膜是单晶的还是多晶的,单晶的就比较麻烦,需要用四元衍射,多晶的就直接扫一遍就行了,

  • 李文波1532

    2°。3°都可以吧。我用的2°,500nm的

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