求助消除石墨坩埚表面粘硅液的方法以及有哪些地方可以做坩埚表面处理
大家好，石墨坩埚内表面上部会由于金属蒸气冷凝而粘上厚厚一层硅晶体，粘附较紧，比较难物理去除。实在难以处理，求助各位，看是否可从石墨坩埚的图层方面入手，看到别人用的氮化硅，麻烦告知哪边可以做氮化硅的涂层。
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