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射频磁控溅射的金属Mo与玻璃片结合力特别差已有4人参与
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采用射频磁控溅射的方式溅射金属Mo在玻璃片上,本地真空度6×10-4Pa,基底温度100℃,高纯氩气,50SCCM,溅射气压0.45Pa,功率90W,时间100min,溅射完成后发现大部分Mo和玻璃基底的结合力特别差,使劲儿一吹就掉,小部分的结合力很好,如下图所示,各位大侠请受小女子一拜![]() ![]() ![]() IMG20150702193415.jpg |
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薄膜制备与特性 |
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3楼2015-07-02 22:24:10
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