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yangyueyf

银虫 (正式写手)

[求助] 射频磁控溅射的金属Mo与玻璃片结合力特别差 已有4人参与

采用射频磁控溅射的方式溅射金属Mo在玻璃片上,本地真空度6×10-4Pa,基底温度100℃,高纯氩气,50SCCM,溅射气压0.45Pa,功率90W,时间100min,溅射完成后发现大部分Mo和玻璃基底的结合力特别差,使劲儿一吹就掉,小部分的结合力很好,如下图所示,各位大侠请受小女子一拜

射频磁控溅射的金属Mo与玻璃片结合力特别差
IMG20150702193415.jpg
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PVD ALD CVD
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yangyueyf: 金币+10 2015-07-12 16:49:45
Mo本身导电性还可以,为什么不用直流溅射呢?另外可以加基底偏压试试
5楼2015-07-03 15:24:10
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

这到底是为什么呢
PVD ALD CVD
2楼2015-07-02 21:10:55
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郭大营

新虫 (正式写手)

春愈厅的主人

同求呢!我也遇到相似的情况呢!
3楼2015-07-02 22:24:10
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avad

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
热膨胀系数差别太大,加梯度金属中间层
不如归去
4楼2015-07-03 09:09:42
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