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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)

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11楼2015-07-06 21:39:15
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lisx2525

新虫 (初入文坛)

1) 做个SiO2 打底层,  2)  Mo 分两层溅射, 先溅射种子层 ,然后在溅射Mo 层。 两种Mo 的气压有点区别。
使用直流溅射即可。射频溅射太慢。
12楼2015-07-20 15:03:33
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cdjjianjian

新虫 (初入文坛)

加缓冲层,

[ 发自小木虫客户端 ]
13楼2015-07-20 15:56:38
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Canba3000

金虫 (正式写手)

减小气流试试
14楼2015-08-20 08:11:33
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


真空度太低了,做的过程中氧化了。
可以直接买。
15楼2015-08-20 10:28:13
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325114100

新虫 (小有名气)

工作压力要提高些,你这个压力忒小了,至少提高到1Pa以上
16楼2015-09-19 16:16:54
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马亚辉

木虫 (小有名气)

Mo是金属,直流就可以啦,不用射频;Mo做不上去有可能是玻璃片不干净,玻璃片洗不干净怎么做都是白搭,洗干净的话就用两步法,先做一层结合力强的,做完后再按照你所设计的去溅射就解决啦
17楼2015-09-20 09:06:08
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