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咖啡路

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射Sn薄膜为何一面雾一面亮 已有3人参与

各位大侠:磁控溅射金属Sn薄膜300nm左右,结果一面雾一面亮,这是怎么造成的?查了Sn在空气中稳定,不易氧化。
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

9楼2016-02-22 15:15:01
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查看全部 9 个回答

1142211017

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你这个一面雾一面亮说的是什么意思啊,溅射了Sn的那面亮,没有溅射的那面雾?还有是在什么衬底上溅射的?
不要做让自己看不起的事情
2楼2015-06-18 09:25:39
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咖啡路

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-06-18 09:25:39
你这个一面雾一面亮说的是什么意思啊,溅射了Sn的那面亮,没有溅射的那面雾?还有是在什么衬底上溅射的?

在石英衬底上镀的,下表面也就是透过衬底看的那面是亮的,上表面是雾的。@1142211017
3楼2015-06-18 09:47:26
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1142211017

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 咖啡路 at 2015-06-18 09:47:26
在石英衬底上镀的,下表面也就是透过衬底看的那面是亮的,上表面是雾的。1142211017...

是不是刚开始溅射条件不稳定的原因,你可以试一试预溅射10一段时间,再开始溅射
不要做让自己看不起的事情
4楼2015-06-18 14:05:45
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