24小时热门版块排行榜    

查看: 1706  |  回复: 8

咖啡路

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射Sn薄膜为何一面雾一面亮 已有3人参与

各位大侠:磁控溅射金属Sn薄膜300nm左右,结果一面雾一面亮,这是怎么造成的?查了Sn在空气中稳定,不易氧化。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1142211017

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你这个一面雾一面亮说的是什么意思啊,溅射了Sn的那面亮,没有溅射的那面雾?还有是在什么衬底上溅射的?
不要做让自己看不起的事情
2楼2015-06-18 09:25:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

咖啡路

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-06-18 09:25:39
你这个一面雾一面亮说的是什么意思啊,溅射了Sn的那面亮,没有溅射的那面雾?还有是在什么衬底上溅射的?

在石英衬底上镀的,下表面也就是透过衬底看的那面是亮的,上表面是雾的。@1142211017
3楼2015-06-18 09:47:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1142211017

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 咖啡路 at 2015-06-18 09:47:26
在石英衬底上镀的,下表面也就是透过衬底看的那面是亮的,上表面是雾的。1142211017...

是不是刚开始溅射条件不稳定的原因,你可以试一试预溅射10一段时间,再开始溅射
不要做让自己看不起的事情
4楼2015-06-18 14:05:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

咖啡路

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-06-18 14:05:45
是不是刚开始溅射条件不稳定的原因,你可以试一试预溅射10一段时间,再开始溅射...

已预溅射过10min,溅射功率也稳定。
5楼2015-06-18 14:08:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1142211017

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 咖啡路 at 2015-06-18 14:08:26
已预溅射过10min,溅射功率也稳定。...

好吧,那我就不知道了,可以看一下Ar气是否稳定吧
不要做让自己看不起的事情
6楼2015-06-18 16:43:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huangfeng82

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
沉底接触的表面平整,上表面粗糙呗,这个情况很常见,不奇怪
7楼2015-06-19 16:27:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

酒肉和尚

木虫 (小有名气)

求问楼主,你溅射Sn的功率是多少
一入博门深似海
8楼2016-02-22 14:50:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

苏州MEMS

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

9楼2016-02-22 15:15:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 咖啡路 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 时间戳又变了 +11 wuchongjun 2026-08-20 15/750 2026-08-20 17:28 by wuchongjun
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +21 yaoyewhu2008 2026-08-20 22/1100 2026-08-20 17:03 by yaoyewhu2008
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +9 zju2000 2026-08-16 10/500 2026-08-20 15:56 by Leogzhya
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+3 snowwithsea 2026-08-19 12/600 2026-08-20 15:56 by lfy8008
[基金申请] 言之凿凿,明天官网会通知放榜? +14 医学老男孩 2026-08-20 16/800 2026-08-20 15:47 by LNP@mRNA
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +16 Ldrop2023 2026-08-13 20/1000 2026-08-20 11:07 by xskun
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +14 kkkl_v 2026-08-19 15/750 2026-08-20 08:21 by sunzitan
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +4 yuleib84 2026-08-19 5/250 2026-08-19 19:52 by hhs666
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +10 wangze12014 2026-08-14 12/600 2026-08-19 16:56 by 苦难博士
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
信息提示
请填处理意见