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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射Sn薄膜为何一面雾一面亮
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咖啡路

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射Sn薄膜为何一面雾一面亮 已有3人参与

各位大侠：磁控溅射金属Sn薄膜300nm左右，结果一面雾一面亮，这是怎么造成的？查了Sn在空气中稳定，不易氧化。
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1楼 2015-06-17 20:13:52
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1142211017

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这个一面雾一面亮说的是什么意思啊，溅射了Sn的那面亮，没有溅射的那面雾？还有是在什么衬底上溅射的？
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不要做让自己看不起的事情
2楼2015-06-18 09:25:39
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咖啡路

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-06-18 09:25:39
你这个一面雾一面亮说的是什么意思啊，溅射了Sn的那面亮，没有溅射的那面雾？还有是在什么衬底上溅射的？

在石英衬底上镀的，下表面也就是透过衬底看的那面是亮的，上表面是雾的。@1142211017
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3楼2015-06-18 09:47:26
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1142211017

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 咖啡路 at 2015-06-18 09:47:26
在石英衬底上镀的，下表面也就是透过衬底看的那面是亮的，上表面是雾的。1142211017...

是不是刚开始溅射条件不稳定的原因，你可以试一试预溅射10一段时间，再开始溅射
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不要做让自己看不起的事情
4楼2015-06-18 14:05:45
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咖啡路

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-06-18 14:05:45
是不是刚开始溅射条件不稳定的原因，你可以试一试预溅射10一段时间，再开始溅射...

已预溅射过10min，溅射功率也稳定。
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5楼2015-06-18 14:08:26
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1142211017

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 咖啡路 at 2015-06-18 14:08:26
已预溅射过10min，溅射功率也稳定。...

好吧，那我就不知道了，可以看一下Ar气是否稳定吧
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不要做让自己看不起的事情
6楼2015-06-18 16:43:40
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huangfeng82

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
沉底接触的表面平整，上表面粗糙呗，这个情况很常见，不奇怪
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7楼2015-06-19 16:27:53
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酒肉和尚

木虫 (小有名气)
求问楼主，你溅射Sn的功率是多少
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一入博门深似海
8楼2016-02-22 14:50:15
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
9楼2016-02-22 15:15:01
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