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汕头大学海洋科学接受调剂
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邱林俊

银虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀膜 已有3人参与

我用的磁控溅射,溅射时基片温度大概多少度?如何降低基片温度?有没什么好的办法提高AlNi多层膜和陶瓷片的结合力?想了解相关知识,请大神指点指点。
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蓝色缘分183

新虫 (初入文坛)

★ ★
穿越千年: 金币+2, 楼主长期不处理,根据回答版主代为发放 2015-06-04 17:01:09
增加一层结合层

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-05-27 20:59:56
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sheng-hao

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
邱林俊(穿越千年代发): 金币+5, 楼主长期不处理,根据回答版主代为发放 2015-06-04 16:57:14
温度要根据你自己靶电极材料和实验需要来设定温度,一般三四百度,如何调温度则通过调节电流控制

[ 发自小木虫客户端 ]
机会要自己创造
2楼2015-05-25 12:37:29
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邱林俊

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by sheng-hao at 2015-05-25 12:37:29
温度要根据你自己靶电极材料和实验需要来设定温度,一般三四百度,如何调温度则通过调节电流控制

谢谢指教,我的意思是常温溅射,不加温,溅射时基片温度大致在什么范围。最近老发觉基片温度过高了。
4楼2015-06-04 09:10:44
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邱林俊

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 蓝色缘分183 at 2015-05-27 20:59:56
增加一层结合层

你们一般加什么过渡层,一般用Cr效果不是很好
5楼2015-06-04 09:11:35
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