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xsz2013

铜虫 (小有名气)

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[求助] 用TiN靶材磁控溅射，射频，镀膜，TiN 是金黄色的，镀的膜也为什么颜色偏黑呢？已有1人参与

如下图，薄膜偏黑色的溅射条件是4h，0.5Pa，120w，偏压是-50V，本底真空是3.4*10-4Pa，而右边这个颜色是正常的（金黄色的），请教下，颜色不对到底是什么原因导致的，为什么会发黑呢？颜色不对会对薄膜的机械性能，与钛合金结合性能有什么影响呢？

有知道的吗？在线等，急需答案，散金币啦

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1楼 2015-04-01 22:28:46

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huihui2eat

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【答案】应助回帖

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xsz2013: 金币+25, ★有帮助, 谢谢 2015-04-14 22:14:15

氮化钛应该是金黄色的呀，是不是腔体该清理了呀？

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2楼2015-04-08 17:17:53

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wanghao524

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专业: 金属材料表面科学与工程

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3楼2015-05-02 10:02:31

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风木马见光

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你有木有另外通入氮气

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4楼2016-01-07 15:53:59

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xhs1814

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左边的颜色我也出现过，当时加了温度300，做了两个都是这颜色，后来把温度降到100就是金黄色的，也许是温度的原因，当然也可能是靶材表面有杂质

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5楼2016-04-02 10:49:19

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