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xsz2013

铜虫 (小有名气)

[求助] 用TiN靶材磁控溅射,射频,镀膜,TiN 是金黄色的, 镀的膜也为什么颜色偏黑呢? 已有1人参与

如下图,薄膜偏黑色的溅射条件是4h,0.5Pa,120w,偏压是-50V,本底真空是3.4*10-4Pa,而右边这个颜色是正常的(金黄色的),请教下,颜色不对到底是什么原因导致的,为什么会发黑呢?颜色不对会对薄膜的机械性能,与钛合金结合性能有什么影响呢?

有知道的吗?在线等,急需答案,散金币啦

用TiN靶材磁控溅射,射频,镀膜,TiN 是金黄色的, 镀的膜也为什么颜色偏黑呢?
图片1.jpg
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风木马见光

新虫 (初入文坛)

你有木有另外通入氮气
4楼2016-01-07 15:53:59
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
xsz2013: 金币+25, 有帮助, 谢谢 2015-04-14 22:14:15
氮化钛应该是金黄色的呀,是不是腔体该清理了呀?
2楼2015-04-08 17:17:53
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xhs1814

新虫 (初入文坛)

左边的颜色我也出现过,当时加了温度300,做了两个都是这颜色,后来把温度降到100就是金黄色的,也许是温度的原因,当然也可能是靶材表面有杂质

发自小木虫IOS客户端
5楼2016-04-02 10:49:19
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