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用TiN靶材磁控溅射，射频，镀膜，TiN 是金黄色的， 镀的膜也为什么颜色偏黑呢？ 已有1人参与
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如下图，薄膜偏黑色的溅射条件是4h，0.5Pa，120w，偏压是-50V，本底真空是3.4*10-4Pa，而右边这个颜色是正常的（金黄色的），请教下，颜色不对到底是什么原因导致的，为什么会发黑呢？颜色不对会对薄膜的机械性能，与钛合金结合性能有什么影响呢？ 有知道的吗？在线等，急需答案，散金币啦  图片1.jpg |
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wanghao524
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3楼2015-05-02 10:02:31