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磁控溅射镀膜流量计无法控制的若干问题？
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| 如题，磁控溅射机流量计无法控制流量，当把氩气瓶接上打开阀门后，流量显示的是“****”，然后分子泵就被冲停掉了；但是把气瓶拔掉，通入空气，流量计却又能正常显示，可以控制流量，这是什么原因？为什么压力大了，流量计控制不了流量？ |
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