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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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qazbnm

铁虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀膜流量计无法控制的若干问题?

如题,磁控溅射机流量计无法控制流量,当把氩气瓶接上打开阀门后,流量显示的是“****”,然后分子泵就被冲停掉了;但是把气瓶拔掉,通入空气,流量计却又能正常显示,可以控制流量,这是什么原因?为什么压力大了,流量计控制不了流量?
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qazbnm

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2014-12-28 13:18:04
是不是流量计进出口有压差要求啊

而且流量计保证没有坏掉,这个肯定没要求,我们这两台磁控溅射机,流量计安装在另一套上可以正常使用,坐等大师解答,怀疑是不是控制系统出了问题
4楼2014-12-28 14:57:21
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查看全部 7 个回答

阿Q~~

至尊木虫 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
路过的看了一下,帮顶~~~~~~~~~~
自强不息,厚德载物;独立精神,自由思想。
2楼2014-12-28 11:14:05
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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
是不是流量计进出口有压差要求啊

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-12-28 13:18:04
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
qazbnm: 金币+5 2014-12-31 14:12:32
我估计你是减压阀坏啦!输出的气压太大,导致质量流量计无法控制流量,输入空气气压较小,所以对气体质量流量计影响不大。换一个可以调节气体压强的减压阀。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
hopeisagoodthing........
5楼2014-12-28 18:06:25
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