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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀膜流量计无法控制的若干问题？
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qazbnm

铁虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀膜流量计无法控制的若干问题？

如题，磁控溅射机流量计无法控制流量，当把氩气瓶接上打开阀门后，流量显示的是“****”，然后分子泵就被冲停掉了；但是把气瓶拔掉，通入空气，流量计却又能正常显示，可以控制流量，这是什么原因？为什么压力大了，流量计控制不了流量？
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1楼 2014-12-28 10:24:42
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
qazbnm: 金币+5 2014-12-31 14:12:32
我估计你是减压阀坏啦！输出的气压太大，导致质量流量计无法控制流量，输入空气气压较小，所以对气体质量流量计影响不大。换一个可以调节气体压强的减压阀。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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hopeisagoodthing........
5楼2014-12-28 18:06:25
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阿Q~~

至尊木虫 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
路过的看了一下，帮顶~~~~~~~~~~
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自强不息，厚德载物；独立精神，自由思想。
2楼2014-12-28 11:14:05
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
是不是流量计进出口有压差要求啊

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2014-12-28 13:18:04
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qazbnm

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2014-12-28 13:18:04
是不是流量计进出口有压差要求啊

而且流量计保证没有坏掉，这个肯定没要求，我们这两台磁控溅射机，流量计安装在另一套上可以正常使用，坐等大师解答，怀疑是不是控制系统出了问题
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4楼2014-12-28 14:57:21
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