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qazbnm

铁虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射镀膜流量计无法控制的若干问题?

如题,磁控溅射机流量计无法控制流量,当把氩气瓶接上打开阀门后,流量显示的是“****”,然后分子泵就被冲停掉了;但是把气瓶拔掉,通入空气,流量计却又能正常显示,可以控制流量,这是什么原因?为什么压力大了,流量计控制不了流量?
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
qazbnm: 金币+4 2014-12-31 14:12:55
你这个问题应该去问Sputter设备生产商,让工程师来给你解决技术问题,事半功倍,你在论坛上等,根本不是很好的问题解决办法;
即使论坛里有真空设备工程师,也未必是你那个设备生产商的,每家设备都不同,根本就不是实事求是;
这个问题就需要,专业人士解决,赶紧找出设备供应商电话,解决问题;
7楼2014-12-30 11:50:02
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查看全部 7 个回答

阿Q~~

至尊木虫 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
路过的看了一下,帮顶~~~~~~~~~~
自强不息,厚德载物;独立精神,自由思想。
2楼2014-12-28 11:14:05
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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
是不是流量计进出口有压差要求啊

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-12-28 13:18:04
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qazbnm

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2014-12-28 13:18:04
是不是流量计进出口有压差要求啊

而且流量计保证没有坏掉,这个肯定没要求,我们这两台磁控溅射机,流量计安装在另一套上可以正常使用,坐等大师解答,怀疑是不是控制系统出了问题
4楼2014-12-28 14:57:21
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