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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 能否进行曲面金属溅射
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adhisj

金虫 (著名写手)

[交流] 能否进行曲面金属溅射

如题，看到的都是把金属溅射到平面上，那么可不可以把金属溅射到曲面上？必须说很细的管道表面(直径0.1mm)左右？
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1楼 2014-11-20 18:46:49
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
adhisj: 金币+5 2014-11-21 09:16:50
曲面应该也可以溅镀。比如旋转靶溅镀曲面型的玻璃基板即为一例。但镀到直径0.1mm的管道表面估计不太行。镀面的曲率太大会引起很高的应力，导致膜与曲面之间的结合力出现问题。
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2楼2014-11-20 19:20:58
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adhisj

金虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-11-20 19:20:58
曲面应该也可以溅镀。比如旋转靶溅镀曲面型的玻璃基板即为一例。但镀到直径0.1mm的管道表面估计不太行。镀面的曲率太大会引起很高的应力，导致膜与曲面之间的结合力出现问题。

多谢！那么请问如果我溅射的厚度很薄，只有十几纳米呢？
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3楼2014-11-21 09:17:10
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by adhisj at 2014-11-21 09:17:10
多谢！那么请问如果我溅射的厚度很薄，只有十几纳米呢？...

那就先试一试吧。
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4楼2014-11-21 10:23:35
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