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zzq18340

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射镀硼,溅射完后取出后几分钟后硼表面雾蒙蒙的,一擦就掉了 已有4人参与

磁控溅射镀硼,溅射完后取出后几分钟后硼表面雾蒙蒙的,一擦就掉了,什么原因,有做过镀硼的吗?
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好好加油!
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aykka

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道基底是什么

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2014-10-05 06:31:59
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zzq18340

新虫 (初入文坛)

没人来拯救下我吗?
好好加油!
2楼2014-10-04 15:22:48
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你的条件是什么?溅射电压?衬底有没有上偏压?真空度如何?温度多少?

溅射失败最常见的两个问题1 真空度不够,氧化 2衬底 偏压或者温度不够,原子没有结晶重排,形成无定形态
3楼2014-10-04 22:33:37
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yes_zhu

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
是不是,基底没有处理好,导致应力过大
5楼2014-10-05 15:46:08
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