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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射镀硼，溅射完后取出后几分钟后硼表面雾蒙蒙的，一擦就掉了
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zzq18340

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射镀硼，溅射完后取出后几分钟后硼表面雾蒙蒙的，一擦就掉了 已有4人参与

磁控溅射镀硼，溅射完后取出后几分钟后硼表面雾蒙蒙的，一擦就掉了，什么原因，有做过镀硼的吗？
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@yswyx

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好好加油！
1楼 2014-10-04 14:49:56
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你的条件是什么？溅射电压？衬底有没有上偏压？真空度如何？温度多少？

溅射失败最常见的两个问题1 真空度不够，氧化 2衬底 偏压或者温度不够，原子没有结晶重排，形成无定形态
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3楼2014-10-04 22:33:37
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zzq18340

新虫 (初入文坛)
没人来拯救下我吗？
赞一下 回复此楼
好好加油！
2楼2014-10-04 15:22:48
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aykka

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不知道基底是什么

[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼2014-10-05 06:31:59
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yes_zhu

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
是不是，基底没有处理好，导致应力过大
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5楼2014-10-05 15:46:08
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