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zzq18340

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射镀硼，溅射完后取出后几分钟后硼表面雾蒙蒙的，一擦就掉了 已有4人参与

磁控溅射镀硼，溅射完后取出后几分钟后硼表面雾蒙蒙的，一擦就掉了，什么原因，有做过镀硼的吗？
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@yswyx

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好好加油！
1楼 2014-10-04 14:49:56
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫
★
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你的条件是什么？溅射电压？衬底有没有上偏压？真空度如何？温度多少？

溅射失败最常见的两个问题1 真空度不够，氧化 2衬底 偏压或者温度不够，原子没有结晶重排，形成无定形态
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3楼2014-10-04 22:33:37
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普通回帖

zzq18340

新虫 (初入文坛)
没人来拯救下我吗？
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好好加油！
2楼2014-10-04 15:22:48
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aykka

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不知道基底是什么

[ 发自小木虫客户端 ]
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4楼2014-10-05 06:31:59
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yes_zhu

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
是不是，基底没有处理好，导致应力过大
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5楼2014-10-05 15:46:08
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zzq18340

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by aykka at 2014-10-05 06:31:59
不知道基底是什么

基底是镍基单晶，是什么原因啊，已经溅射失败了，拿出来就膜就掉了。
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好好加油！
6楼2014-10-06 18:01:01
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zzq18340

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yes_zhu at 2014-10-05 15:46:08
是不是，基底没有处理好，导致应力过大

先用水砂纸磨过，再用超声波丙酮清洗30min，最后用酒精清洗，吹风机吹干。
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好好加油！
7楼2014-10-06 18:02:58
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by zzq18340 at 2014-10-06 18:02:58
先用水砂纸磨过，再用超声波丙酮清洗30min，最后用酒精清洗，吹风机吹干。...

吹风机吹？很脏吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2014-10-06 19:16:09
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zzq18340

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by vincentwz at 2014-10-06 19:16:09
吹风机吹？很脏吧
...

不会啊 ，吹风机死把酒精吹干。
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好好加油！
9楼2014-10-06 22:02:49
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zzq18340

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ppttcug at 2014-10-04 22:33:37
你的条件是什么？溅射电压？衬底有没有上偏压？真空度如何？温度多少？

溅射失败最常见的两个问题1 真空度不够，氧化 2衬底 偏压或者温度不够，原子没有结晶重排，形成无定形态

真空度是够了的，就是取出来后马上就会被氧化。硼镀在镍基衬底上一擦就掉。这是什么原因啊
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好好加油！
10楼2014-10-06 22:04:32
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