| 查看: 3145 | 回复: 8 | |||
firstlaker金虫 (正式写手)
|
[求助]
光刻和电子束刻蚀做金属图案 已有3人参与
|
|
如题。我想在铁膜上做一些圆柱形图案，直径为1um左右，厚度50 nm。用电子束刻蚀后再用磁控溅射机镀膜，lift-off方法做出来的膜边缘问题很大，请问有什么方法可以改善么？ 听说可以先镀上膜，再光刻，然后利用化学反应腐蚀掉未被光刻胶覆盖部分，这种方法可行么？做出来的pattern效果怎么样？可以用哪种胶和哪种溶液呢？ 如果我用光刻的方法在铁膜上做直径20um左右厚度50nm的图案，又应该用哪种胶和哪种图案呢？易于实现么？ |
回复此楼» 本帖@通知
» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有225人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 大家好，请问大多数正性光刻胶和盐酸反应吗，有哪些光刻胶分辨率能达到30nm
已经有5人回复
- 怎样降低ITO导电玻璃表面粗糙度，或者怎样处理表面可以实现EBL刻蚀
已经有9人回复
- IBE刻蚀孔结构不均匀问题
已经有10人回复
- 问一个Cr作模板深刻蚀SiO2和Si的问题
已经有10人回复
- SF6刻蚀硅片,可以用什么金属做掩膜？
已经有10人回复
- 关于光刻剥离的难题
已经有7人回复
- 湿法刻蚀硅片和铝箔用什么做掩膜比较好？
已经有4人回复
- 电子束热蒸发问题
已经有3人回复
- 哪位高手帮忙画一个光刻板（掩模板）图纸，简单的阵列结构。
已经有24人回复
- 可以用负胶做掩模刻蚀氮化硅吗？
已经有7人回复
- 电子束光刻磁控溅射金属剥离问题
已经有9人回复
- 【求助】请问一下光刻胶是什么东西？成分是什么？
已经有6人回复
- 【求助】光刻用的掩模板怎么清洗？
已经有25人回复
- 【求助】“bottom-up” materials请高人指点下
已经有6人回复
- 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？
已经有22人回复
- 【求助】关于湿法刻蚀
已经有17人回复
- 【资源】电子束光刻技术
已经有32人回复
感谢参与，应助指数 +1
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:34:02
dgf2008: 屏蔽内容, 过期内容！ 2017-07-25 23:34:02
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2014-09-23 19:31:20
firstlaker
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 795.7
- 散金: 30
- 红花: 5
- 帖子: 393
- 在线: 153.2小时
- 虫号: 2870009
- 注册: 2013-12-14
- 专业: 光学
3楼2014-09-26 13:00:28
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2014-09-26 13:22:29
firstlaker
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 795.7
- 散金: 30
- 红花: 5
- 帖子: 393
- 在线: 153.2小时
- 虫号: 2870009
- 注册: 2013-12-14
- 专业: 光学
5楼2014-09-26 13:50:00
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
6楼2014-09-26 16:59:08
exciting73
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
7楼2014-09-27 09:43:52
metaliium
银虫 (正式写手)
- 应助: 69 (初中生)
- 金币: 2368.1
- 散金: 25
- 红花: 12
- 帖子: 439
- 在线: 118.4小时
- 虫号: 1916175
- 注册: 2012-07-30
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
8楼2014-09-27 10:34:34
★ ★
supernatural: 金币-2, 屏蔽内容, 违规存档, 帖子里不允许留下网站链接 2020-05-27 09:16:49
supernatural: 金币-2, 屏蔽内容, 违规存档, 帖子里不允许留下网站链接 2020-05-27 09:16:49
|
本帖内容被屏蔽 |
9楼2020-05-24 09:25:23
40