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maskman木虫 (正式写手)
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怎样降低ITO导电玻璃表面粗糙度,或者怎样处理表面可以实现EBL刻蚀 已有2人参与
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| 我想在ITO表面旋涂PMMA胶进行EBL刻蚀,但是由于目前的ITO表面粗糙度较大,所以不易进行刻蚀,请问各位有没有前辈尝试过提高表面质量的方法,希望分享一下,不甚感激,若能提供得到表面质量较好的ITO的渠道,也非常感谢 |
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peterflyer
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maskman: 金币+15, ★★★很有帮助 2014-02-11 08:52:18
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要想降低表面粗糙度有几个办法:机械抛光、酸碱出力、等离子处理以及几种方法的组合。可参考文献: http://www.docin.com/p-174962.html&pageType=previewUser |
2楼2014-02-10 17:17:59
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