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maskman木虫 (正式写手)
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怎样降低ITO导电玻璃表面粗糙度，或者怎样处理表面可以实现EBL刻蚀 已有2人参与
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| 我想在ITO表面旋涂PMMA胶进行EBL刻蚀，但是由于目前的ITO表面粗糙度较大，所以不易进行刻蚀，请问各位有没有前辈尝试过提高表面质量的方法，希望分享一下，不甚感激，若能提供得到表面质量较好的ITO的渠道，也非常感谢 |
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要想降低表面粗糙度有几个办法：机械抛光、酸碱出力、等离子处理以及几种方法的组合。可参考文献： http://www.docin.com/p-174962.html&pageType=previewUser |
2楼2014-02-10 17:17:59
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